一种支撑加热坩埚的装置以及包括它的沉积设备

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摘要

一种支撑加热坩埚的装置，包括支撑台和防污盘，支撑台的上表面形成有许多孔洞，防污盘分布于支撑台的各个孔洞入口处，并且具有相对于孔洞的开放部分以及沿孔洞内壁延伸的遮蔽部分。

基本信息

专利标题：

一种支撑加热坩埚的装置以及包括它的沉积设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1818128A

申请号：

CN200610008964.6

公开（公告）日：

2006-08-16

申请日：

2006-01-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

池昶恂

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨松龄

优先权：

CN200610008964.6

主分类号：

C23C14/26

IPC分类号：

C23C14/26

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

C23C14/26

电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法

法律状态

2014-05-21 ：

授权

2012-11-07 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101459032789
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利申请号 : 2006100089646
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道水原市
变更后权利人 : 韩国京畿道水原市
登记生效日 : 20120928

2009-02-25 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道水原市
登记生效日 : 20090123

2008-02-13 ：

实质审查的生效

2006-08-16 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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