一种自加热的PBN坩埚
授权
摘要
本实用新型涉及一种自加热的PBN坩埚，属于坩埚生产加工技术领域，坩埚包括PBN材质的坩埚基体，坩埚基体外表面设置PG导电层，PG导电层上涂覆一层PBN涂层。本实用新型通过坩埚自身的PG导电层直接进行加热，有效减少热量在辐射传递过程中的损失，提高能量利用率及加热效率。
基本信息
专利标题 ：
一种自加热的PBN坩埚
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021758342.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-21
授权号 ：
CN214193433U
授权日 ：
2021-09-14
发明人 ：
刘汝强王殿春赵旭荣
申请人 ：
山东国晶新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市禹城市南环东路88号
代理机构 ：
济南金迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵龙群
优先权 ：
CN202021758342.7
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-09-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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