一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种集成电路生产用检测装置，具体涉及一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置。包括离子水排液管、检测竖管和液体介质电阻率检测仪，所述离子水排液管由依次连接的进液横管、排液竖管、排液横管组成，所述检测竖管两端分别与进液横管和排液横管的管身连通，所述检测竖管与排液横管的连通端设有阻水阀，所述液体介质电阻率检测仪的感应探头伸入检测竖管内。本实用新型在离子水排液管的管段上加装检测竖管，检测竖管对离子水进行收集并排出其内空气，最大化降低空气对离子水的影响，保证液体介质电阻率检测仪的电阻检测的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种集成电路清洗用离子水电阻率检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020293552.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-11
授权号 ：
CN211979050U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
李应龙
申请人 ：
天水天光半导体有限责任公司
申请人地址 ：
甘肃省天水市秦州区环城西路7号
代理机构 ：
兰州锦知源专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
勾昌羽
优先权 ：
CN202020293552.7
主分类号 ：
G01R27/22
IPC分类号 ：
G01R27/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
G01R27/22
流体电阻的测量
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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