本实用新型涉及一种去离子水电阻率报警装置，包括连接管，连接管的外侧设置有电阻率监控仪，电阻率监控仪的内部安装有PLC控制器，电阻率监控仪的外壁一侧安装有报警器，报警器与PLC控制器电性连接，连接管设置有两条，连接管的内侧安装有电阻率传感器，电阻率传感器与PLC控制器信号连接，二级反渗透膜的顶部连接有第一三通接头，连接管靠近电阻率监控仪的底部安装有阀门，阀门与PLC控制器电性连接，连接管的底部连接有第二三通接头，第二三通接头用于汇集连接管中的去离子水，并输送给增加泵。本实用新型通过在去离子水的连接管上设置报警装置，实时监测去离子水的电阻率是否达到12MΩ.cm以上，提高半导体电镀去离子水的质量。