一种划片机划片去离子水流量自动报警装置

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摘要

本实用新型涉及一种划片机划片去离子水流量自动报警装置，包括划片机和设置在划片机上的清洗观测框，所述清洗观测框内部设置有清洗水管，所述清洗水管设置有多条，所述清洗水管的中间连接有流量传感器，所述清洗水管靠近流量传感器的两侧分别设置有阀门，所述清洗观测框的顶部安装有与清洗水管数量相等的报警器，还包括PLC控制器，所述PLC控制器与流量传感器信号连接，所述PLC控制器分别与报警器和阀门电性连接。本实用新型通过在清洗水管上设置流量传感器，实时监控去离子水的流量，使其保持在正常流速，对晶圆片表面会残留切削微粒进行良好的清洗，提高晶圆片后续集成电路的封装质量。

基本信息

专利标题：

一种划片机划片去离子水流量自动报警装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921160156.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-23

授权号：

CN210535629U

授权日：

2020-05-15

发明人：

范荣定夏昊天葛海波

申请人：

江苏长晶科技有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦1087室

代理机构：

南京禾易知识产权代理有限公司

代理人：

仇波

优先权：

CN201921160156.0

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 G01F1/52 G01F15/06