划片装置
授权
摘要
本发明涉及芯片切割技术领域,提供了一种划片装置,该划片装置包括:底座支架、主体支架、切割机芯组件和电气控制组件,电气控制组件位于切割机芯组件的上方;电气控制组件包括第一安装板和设置在第一安装板上的伺服驱动模块,第一安装板与主体支架连接;伺服驱动模块在第一安装板所在平面的正投影与切割主轴在第一安装板所在平面的正投影不重叠。本发明通过将发热量大的电气控制组件设置在精密的切割机芯组件上方,使得电气控制组件周围的热空气上升,可减小对下方切割机芯组件的形变影响,提升整个划片装置的切割精度;同时将电气控制组件中发热量最大的伺服驱动模块与对切割精度影响最大的切割主轴错位布置,进一步降低热量对切割主轴的影响。
基本信息
专利标题 :
划片装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114074380A
申请号 :
CN202210057596.3
公开(公告)日 :
2022-02-22
申请日 :
2022-01-19
授权号 :
CN114074380B
授权日 :
2022-04-22
发明人 :
袁慧珠张明明刘苏阳刘佳梦石文徐双双
申请人 :
沈阳和研科技有限公司
申请人地址 :
辽宁省沈阳市皇姑区步云山路53号
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
李旦华
优先权 :
CN202210057596.3
主分类号 :
B28D5/00
IPC分类号 :
B28D5/00 B28D7/00 H01L21/304
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
法律状态
2022-04-22 :
授权
2022-03-11 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/00
申请日 : 20220119
申请日 : 20220119
2022-02-22 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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