划片机真空稳压吸附装置

专利权的终止

摘要

一种划片机真空稳压吸附装置，包括吸盘、气源、电磁阀及真空发生器，气源经电磁阀与真空发生器相连，所述真空发生器包括第一真空发生器及第二真空发生器，第一真空发生器的真空端口与吸盘之间设有一真空稳压器，该真空稳压器为一密闭式筒体，该密闭式筒体的上部设有进气口和出气口，其下部设有出水口，所述进气口经气管与吸盘相连，出气口经气管与第一真空发生器的真空端口相连，出水口经气管与第二真空发生器的真空端口相连。本方案解决了由于划片机吸盘真空度不稳定而造成的硅片飞出吸盘或砂轮刀切穿硅片，使切割质量下降的问题。

基本信息

专利标题：

划片机真空稳压吸附装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820035555.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-04-22

授权号：

CN201181695Y

授权日：

2009-01-14

发明人：

成铁军陈志刚

申请人：

苏州固锝电子股份有限公司

申请人地址：

215153江苏省苏州市新区通安经济开发区通锡路31号

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

马明渡

优先权：

CN200820035555.X

主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/78 H01L21/301 B28D5/00