一种划片机自动清洗用转盘
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及一种划片机自动清洗用转盘,包括转盘本体,转盘本体的内部开设有清洗腔,清洗腔为圆盘状,清洗腔的周边设置有内槽,内槽的外侧设置有圆弧边,内槽的顶部设置有斜面,清洗腔的顶部设置有连通外界的开口,清洗腔的内部上表面中间设置有陶瓷板,陶瓷板的内部开设有若干个通孔,陶瓷板为圆形,转盘本体的底部中间开设有真空连接腔,转盘本体的外周面设置有连通内槽的出水孔。本实用新型通过在转盘本体的内部开设有清洗腔,在清洗腔的内部上表面中间粘接固定有陶瓷板,通过多孔的陶瓷板便于通过真空吸管吸附其顶部的晶圆片或其他半导体框架材料,防止在清洗过程中发生移动,以防被甩出转盘,节约生产材料降低生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种划片机自动清洗用转盘
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921160126.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-23
授权号 :
CN210575886U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
杨国江夏昊天葛海波
申请人 :
江苏长晶科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦1087室
代理机构 :
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 :
仇波
优先权 :
CN201921160126.X
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-03-25 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/683
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏长晶科技有限公司
变更后 : 江苏长晶科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 210000 江苏省南京市江北新区研创园团结路99号孵鹰大厦1087室
变更后 : 210000 江苏省南京市中国(江苏)自由贸易试验区南京片区研创园腾飞大厦C座13楼
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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