划片刀清洗冷却液回用装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种划片刀清洗冷却液回用装置，包括废液收集单元、微滤单元、第一储水单元、废液纯化单元和第二储水单元，其中，废液收集单元、微滤单元、第一储水单元、废液纯化单元和第二储水单元依次通过管路连通；废液纯化单元包括具有进水口和出水口的电去离子装置，电去离子装置的出水口包括浓水出口和纯水出口，通过管路从纯水出口连通到第二储水单元，通过管路从浓水出口分别连通到废液收集单元和第一储水单元。本实用新型提供的划片刀清洗冷却液回用装置可对划片工艺产生的清洗冷却液进行回收处理，满足再次应用于划片工艺中的纯水要求，达到了节能、减排以及降低生产成本的目的。

基本信息

专利标题：

划片刀清洗冷却液回用装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922329170.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-23

授权号：

CN211688637U

授权日：

2020-10-16

发明人：

方书农戴志文罗巍

申请人：

上海新阳半导体材料股份有限公司

申请人地址：

上海市松江区思贤路3600号

代理机构：

上海脱颖律师事务所

代理人：

李强

优先权：

CN201922329170.5

主分类号：

C02F9/06

IPC分类号：

C02F9/06