一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉
授权
摘要
本实用新型涉及一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉，属于复合材料制备设备技术领域。炉体包括上方炉膛与下方炉膛，上方炉膛可实现CVD工艺沉积过程，下方炉膛可实现CVI工艺沉积过程。在多孔纤维预制体的沉积初期，通过控制样品底部温度远高于顶部温度，采用CVI工艺，使进气从下方炉膛流出，优先沉积样品下部。当下部沉积增密结束后，逐步减小垂直管路的通气量，转为CVD工艺，通过原料气扩散进入导流板和样品，进而完成对样品上部分的沉积过程。通过不同炉膛加热器温度的控制，以及不同流向气流分布比例，实现对样品沉积速度与沉积位置的控制。
基本信息
专利标题 ：
一种基于CVD/CVI双工艺的纤维增强复合材料沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020307131.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-12
授权号 ：
CN212270232U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
张松郑丽丽张辉
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园1号
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
罗文群
优先权 ：
CN202020307131.5
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/455 C23C16/52
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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