本实用新型公开了一种平面陶瓷靶材的成型模具。所述模具包括钢模、柔性模套和柔性板，所述钢模包括上钢盖和下钢盖，上钢盖和下钢盖安装组合形成空腔体，所述柔性模套安装于钢模的两端，且与钢模配合密封，所述柔性板由上橡胶板和下橡胶板组合形成，且置于钢模的空腔体内，上橡胶板、下橡胶板和柔性模套之间形成的腔体为粉末填充腔；所述柔性模套的邵氏硬度为40‑90度，所述柔性板的邵氏硬度为20‑60度。利用本实用新型的模具对造粒粉进行冷等静压成型，可以得到尺寸规则平整的陶瓷靶材生坯，经过烧结可以得到高致密性的靶材，陶瓷靶材生产过程中减少了油压机成型的工序，降低了设备及油压模具的投入，同时也降低了陶瓷靶材生坯在搬运过程中出现开裂的风险。