一种用于LDI紫外直写镜头配套检测平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于LDI紫外直写镜头配套检测平台，包括平台、检测安装座、LDI镜头、CCD相机、LDI镜头升降位移台、分辨率板和分辨率板升降位移台，平台的上表面固定设置检测安装座，检测安装座的上表面设置与CCD相机相配合的CCD相机安装卡座，所述与检测安装座相配合LDI镜头通过LDI镜头升降位移台可上下滑动的设置在平台上，所述与LDI镜头相配合的分辨率板通过分辨率板升降位移台可上下滑动的设置在平台上，且分辨率板位于LDI镜头的上方。本实用新型解决了传统检测平台无法满足LDI镜头测试需要的高精度、高效率和高稳定性的检测要求。
基本信息
专利标题 ：
一种用于LDI紫外直写镜头配套检测平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020322558.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-16
授权号 ：
CN211855787U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
向先兵陈铭勇
申请人 ：
深圳市灿锐科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道凤塘大道50号鑫龙科技园A栋2楼202
代理机构 ：
深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李绍飞
优先权 ：
CN202020322558.2
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G01M11/04 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
