一种光刻镜头的检测平台
授权
摘要
本实用新型提供一种光刻镜头的检测平台，包括底座和与所述底座连接的支撑件，所述支撑件上设有光源模组，所述支撑件上还设有接收所述光源模组光源的图像模组，所述底座上设有带有被测光刻镜头且接收所述图像模组映射图像的采集模组，本实用新型为一种光刻镜检测平台，包括光源模组、图像模组、以及采集模组，光源模组发出长方形激光光斑至图像模组上，图像模组上自带有图案，图像模组把均匀光斑处理成带有图像的光斑映射至被测镜头由采集模组接收，采集模组输出图片，通过图片仲的图像来计算出镜头的畸变、放大倍率以及MTF，实现一站式检测，工序简单，操作容易，效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻镜头的检测平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921336977.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-16
授权号 ：
CN210347068U
授权日 ：
2020-04-17
发明人 ：
王瑶
申请人 ：
中山依瓦塔光学有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区中心城区祥兴路6号数贸大厦北冀10层1012卡、1013卡
代理机构 ：
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨连华
优先权 ：
CN201921336977.5
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2020-04-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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