一种双远心投影光刻镜头
授权
摘要
本实用新型提供了一种双远心投影光刻镜头，包括物方和像方，物方至像方依次设置棱镜、前透镜组、孔径光阑和后透镜组；前透镜组包括3片透镜，第一透镜是双凸透镜，具有正光焦度；第二透镜是弯月透镜，具有负光焦度，其物侧面为凸面，像侧面为凹面；第三透镜是弯月透镜，具有负光焦度，其物侧面为凸面，像侧面为凹面；后透镜组包括4片透镜，第四透镜是双凹透镜，具有负光焦度；第五透镜是弯月透镜，具有负光焦度，其物侧面为凸面，像侧面为凹面；第六透镜是弯月透镜，具有正光焦度，其物侧面为凹面，像侧面为凸面；所述第七透镜为双凸透镜，具有正光焦度。具有高分辨率、超宽景深、超低畸变以及平行光设计，适用于光刻机光刻镜头。
基本信息
专利标题 ：
一种双远心投影光刻镜头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123440890.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
CN216622833U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
霍大云刘麟跃贺文丽
申请人 ：
锡凡半导体无锡有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区长江南路35号206
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙建
优先权 ：
CN202123440890.2
主分类号 ：
G02B13/22
IPC分类号 ：
G02B13/22 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
G02B13/22
远心物镜或透镜系统
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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