一种双远心镜头及数字投影光刻系统
授权
摘要
本实用新型实施例涉及光学设计技术领域，公开了一种双远心镜头，能够应用在数字投影光刻系统中，该双远心镜头包括：第一折射透镜组、光阑和第二折射透镜组；其中，所述第一折射透镜组包括从像面到所述光阑依次设置的：具有正光焦度的第一透镜、第二透镜、第三透镜和具有负光焦度的第四透镜；所述第二折射透镜组包括从所述光阑到物面依次设置的：具有负光焦度的第五透镜、以及、具有正光焦度的第六透镜、第七透镜和第八透镜，本实用新型实施例提供的双远心镜头具有很高的分辨率、大像方视场和很低的畸变，成像效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种双远心镜头及数字投影光刻系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021163305.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-19
授权号 ：
CN212112124U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
段辉高胡跃强宋强王景许恒深马国斌汪涛
申请人 ：
深圳珑璟光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区桃源街道塘朗社区信宜五路83号塘朗工业B区集悦城众创产业园50栋113集悦城B50栋113
代理机构 ：
深圳市六加知识产权代理有限公司
代理人 ：
许铨芬
优先权 ：
CN202021163305.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G02B13/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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