一种单面数字光刻系统
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种单面数字光刻系统,包括第一平台、第二平台、位于所述第一平台及所述第二平台之间的光刻主体、设置于所述光刻主体两侧的靶点相机及承载所述第一平台及所述第二平台的传动组件;所述第一平台及所述第二平台均用于承载待光刻线路板,所述待光刻线路板包括一待光刻表面,所述传动组件用于带动所述第一平台或所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动,所述靶点相机用于获取所述待光刻线路板的待光刻表面的图像信息,以实现所述光刻主体根据所述图像信息对所述第一平台及所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面交替进行数字光刻处理。本发明提供的单面数字光刻系统,提高了光刻效率,提高了光刻精度。

基本信息
专利标题 :
一种单面数字光刻系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114265287A
申请号 :
CN202210115539.6
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2022-02-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈志特王华甘泉龚海峰
申请人 :
广东科视光学技术股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 :
深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
胡国英
优先权 :
CN202210115539.6
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20220207
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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