用于数字光刻装置的数字图案文件优化
实质审查的生效
摘要
数字图案生成系统包括存储器和控制器。控制器耦合到存储器，并且被配置为从数字图案文件中去除冗余单元、生成第一更新的数字图案文件、并将第一更新的数字图案文件与数字图案文件进行比较。再者，减少第一更新的数字图案文件的第一弧形的顶点数目，以生成第二更新的数字图案文件。此外，用第一单元的替代版本替换第二更新的数字图案文件的第一单元，以生成第三更新的数字图案文件。再者，将第三更新的数字图案文件中的一个或多个多边形转换为一个或多个四边形多边形，以生成优化的数字图案文件。
基本信息
专利标题 ：
用于数字光刻装置的数字图案文件优化
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114341735A
申请号 ：
CN201980099993.3
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2019-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
康宗勋托马斯·拉伊迪董银锋杨耀程洪诚谦希瓦拉加·古鲁拉加·卡马拉普拉高再传
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201980099993.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20190923
申请日 : 20190923
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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