一种全自动单面数字光刻方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种全自动单面数字光刻方法,应用于PCB板的全自动单面数字光刻装置中,所述装置包括第一平台及第二平台、光刻主体及传动组件;所述方法包括如下步骤:所述传动组件带动所述第一平台向靠近所述光刻主体的方向移动;所述光刻主体对所述第一平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理;在所述第一平台上的待光刻线路板进行数字光刻处理的同时所述传动组件带动所述第二平台向靠近所述光刻主体的方向移动;在所述第一平台上的进行数字光刻处理完毕后的光刻线路板进行出料后,所述光刻主体对所述第二平台上的待光刻线路板的待光刻表面进行数字光刻处理。本发明提供的全自动单面数字光刻方法,提高了光刻效率,提高了光刻的数字化程度。
基本信息
专利标题 :
一种全自动单面数字光刻方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114265288A
申请号 :
CN202210115558.9
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2022-02-07
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈志特王华黄海浩甘泉何增灿龚海峰
申请人 :
广东科视光学技术股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)
代理机构 :
深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
胡国英
优先权 :
CN202210115558.9
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20220207
申请日 : 20220207
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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