本发明提供一种光刻对准方法，先从多个对准标记中选取预设数量的对准标记作为目标组，然后根据所述目标组中的各所述对准标记的对准信号，判断所述目标组中的各所述对准标记的质量是否合格，然后将质量不合格的对准标记移除，以避免因对准标记的质量问题影响粗对准偏差模型中的参数，提高粗对准偏差模型的精度。以及通过确定目标组中各所述对准标记的残差，并将残差大于预设阈值的对准标记从目标组移除，由此保证对准标记的残差小于预设阈值，确保了粗对准偏差模型的精确性，避免出现无法进行光刻对准的问题。