本实用新型公开一种直写式光刻机的对准装置，包括第一图像获取模块、第二图像获取模块、多个标记模块，第一图像获取模块位于直写式光刻机的吸盘台面下方，第二图像获取模块位于吸盘台面上方，吸盘台面的边缘等距或不等距的开设有多个安装槽，多个标记模块安装在多个安装槽中，每个标记模块包括标记板，标记板的第一端靠近吸盘台面的边缘，标记板的第二端向吸盘台面的吸附区域延伸，安装槽对应标记板的第二端的下方的位置设有通孔，第一图像获取模块至少部分位于通孔下方，标记板的第二端设有多个背面对准标记点，多个背面对准标记点位于通孔上方。本实用新型能够实现无需激光打标，不会损伤工件，也不会受工件空余区域大小的限制。