一种用于直写光刻机的电机串并联系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于直写光刻机的电机串并联系统，包括：花岗岩大理石；多个扫描轴，每个扫描轴具有至少一个扫描电机动子；多个工作吸盘，多个工作吸盘一一对应地设于多个扫描轴上；第一电控系统，第一电控系统与每个扫描轴的每个扫描电机动子连接，第一电控系统在第一状态和第二状态之间可切换；其中，第一电控系统处于第一状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子同时运动；第一电控系统处于第二状态时，第一电控系统控制至少两个扫描轴的扫描电机动子单独运动。根据本实用新型实施例的一种用于直写光刻机的电机串并联系统能够实现多个扫描轴的同步运动和单独运动的切换，具有兼容性强、生产效率高等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于直写光刻机的电机串并联系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022234271.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-09
授权号 ：
CN213069473U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
李辉李香滨
申请人 ：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
代理机构 ：
北京景闻知识产权代理有限公司
代理人 ：
曹雪荣
优先权 ：
CN202022234271.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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