防撞装置、工件台系统及光刻机
授权
摘要
本实用新型的防撞装置、工件台系统及光刻机，其中，防撞装置中的防撞组件中设置了可伸缩的防撞杆，并使防撞杆能够牵制第一滑块和第二滑块。因此当防撞杆的两端至少其中之一被撞击时，防撞杆可牵动第一滑块朝向第二滑块运动和/或牵动第二滑块朝向第一滑块方向运动，并压缩与第一滑块和第二滑块连接的可伸缩的缓冲杆，缓冲杆被压缩后产生反方向的应力以抵消防撞杆被撞击时产生的撞击力，实现双向防撞功能。而本实用新型的防撞装置，其将双向缓冲功能集成在一个防撞装置内，因此提升了本实用新型的防撞装置、安装上述防撞装置的工件台及光刻机的集成度，提升了空间利用率。
基本信息
专利标题 ：
防撞装置、工件台系统及光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021248834.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-30
授权号 ：
CN212586694U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
张雯
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN202021248834.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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