一种光刻机工件台移动调整装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机工件台移动调整装置，包括工件箱，所述工件箱的内部放置有工件台，所述工件箱的内底壁设置有校准机构，所述工件台的下表面转动连接有若干个移动滚轮，所述工件箱的内底壁固定连接有与移动滚轮相适配的滚槽，所述工件台的两侧均设置有定位机构，所述工件台的背面固定连接有固定块。该光刻机工件台移动调整装置，通过固定块和固定销相配合，可以固定整个工件台的位置，使其在工作的过程中不易移动，通过同步驱动电机可以同步驱动移动滚轮，可以使移动滚轮沿着滚槽的方向移动，从而达到了移动滚轮可以带动整个工件台移动的效果，工件台移出后方便光刻机的维护与保养。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机工件台移动调整装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021867036.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-01
授权号 ：
CN213023940U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
王群
申请人 ：
江苏九迪激光装备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021867036.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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