本实用新型揭示了用于光刻机的电磁推杆机构，与光刻机的位移基台相驱动连接，包括外壳，外壳内设有电磁体及永磁铁，电磁体包括导套，导套上设置有第一线圈、第二线圈及位于第一线圈与第二线圈之间的静铁芯，电磁体的第一线圈与第二线圈相串联、并且在通电状态下形成单向磁场，导套内滑动配接有动铁芯，动铁芯设有推杆，推杆贯穿外壳与位移基台的受驱杆体相连。本实用新型利用电磁推杆螺旋管漏磁通工作原理，通过对动铁芯驱动从而实现推杆线性往复运动，具有双向运动功能。采用锥形套体的设计，能与铁芯相配合实现精确行程控制，同时利于磁场导向。具备到位保持功能，节约能源、具有较大保持力、呈现高速化、高效化、成本低和低能耗的良好效益。