直写式光刻机曝光控制系统
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种光刻技术领域,为一种直写式光刻机曝光控制系统,包括光电传感器、滤波放大电路、模数转换器、可编程逻辑器件、数模转换器、控制电路、光源、主控制器、上位机,光电传感器的输出经过滤波放大电路、模数转换器与可编程逻辑器件连接,可编程逻辑器件的输出经过数模转换器与控制电路连接,控制电路的输出连接光源,可编程逻辑器件还通过主控制器与上位机连接。它克服现有技术曝光精度不高的问题,实现了曝光剂量的精确控制,可广泛应用于芯片制造、印刷电路板、掩膜板、平板显示器、生物芯片、微机械系统、光学玻璃平板等衬底上印刷构图等场合。
基本信息
专利标题 :
直写式光刻机曝光控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200820032697.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2008-02-27
授权号 :
CN201194067Y
授权日 :
2009-02-11
发明人 :
王正宏
申请人 :
芯硕半导体(中国)有限公司
申请人地址 :
230601安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼
代理机构 :
合肥金安专利事务所
代理人 :
金惠贞
优先权 :
CN200820032697.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2014-04-16 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101581559510
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2008200326970
申请日 : 20080227
授权公告日 : 20090211
终止日期 : 20130227
号牌文件序号 : 101581559510
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2008200326970
申请日 : 20080227
授权公告日 : 20090211
终止日期 : 20130227
2009-02-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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