一种直写式曝光机
授权
摘要
本实用新型提供一种直写式曝光机，包括可移动的基板台面和标记装置，所述标记装置包括第一标记装置和第二标记装置，所述第一标记装置位于所述基板台面的至少一个边沿，所述第二标记装置位于所述基板台面的中心区域。通过第一打标装置和第二打标装置对在基板台面上放置内层板背面进行打标，在内层板背面留下多个标记，其与内层板正面的曝光图形确定稳定的位置关系并提供涨缩信息；其中第二打标装置可在PCB内层板中心区域内自由移动，获取最佳的打标位置，可提高对位精度和速度，更好的掌控图形的涨缩值。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020313589.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-13
授权号 ：
CN211741829U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
段艳霞夏天张雷
申请人 ：
苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020313589.1
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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