一种直写式曝光机用轴向传动结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种直写式曝光机用轴向传动结构，包括第一支撑板、伺服电机和螺母，所述第一支撑板的内部设置有收纳槽，且收纳槽的内部安装有驱动齿轮，所述驱动齿轮的中心固定安装有转轴，且转轴穿过第一支撑板与伺服电机固定连接，并且伺服电机固定安装在第一支撑板的外表面，所述驱动齿轮与连接齿轮啮合连接，且连接齿轮位于收纳槽的内部，并且连接齿轮的中心固定安装有丝杆，所述丝杆穿过第一支撑板和连接板与第二支撑板轴承连接。该直写式曝光机用轴向传动结构，需要将平台或是设备固定安装到顶板上时，可根据平台或是设备的尺寸对顶板之间的间距进行合适的调节工作，从而便于后续将平台或是设备固定安装到顶板上。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式曝光机用轴向传动结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922012638.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN211454229U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
王伟
申请人 ：
王伟
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区珠江路117号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922012638.8
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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