一种直写式曝光机
授权
摘要
本实用新型提供了一种直写式曝光机，其包括底座、置于所述底座上平行排列的第一龙门机构、第二龙门机构、步进轴运动组件、置于所述步进轴运动组件上的基板平台组件、置于第一龙门机构的对位机构、置于第二龙门机构曝光机构，所述第一龙门机构和第二龙门机构将所述底座分为上板区、对位区、曝光区和下板区，所述上板区位于所述第一龙门机构前，所述对位区位于所述第一龙门机构下方，所述曝光区位于所述第二龙门机构下方，所述下板区与所述曝光区重合或部分重合或位于所述第二龙门机构后方，所述步进轴运动组件带动所述基板平台组件依次穿过上述区域。所述直写式曝光机更加有利于应用于全自动化的方式。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920726893.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-21
授权号 ：
CN209962089U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
钱志斌李伟成张雷
申请人 ：
苏州源卓光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920726893.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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