一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机
授权
摘要
本实用新型涉及曝光机技术领域，公开一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机。其中直写式曝光机工作台组件包括平行且间隔设置于工作台上卷放装置和卷收装置，用于对待曝光卷材的卷放和卷收；与工作台连接的移动装置，被配置为能带动工作台相对曝光系统移动，以使曝光系统能对卷放装置和卷收装置之间的待曝光材料进行曝光。还公开了一共包括上述直写式曝光机工作台组件的直写式曝光机。本实用新型通过将卷放装置和卷轴装置直接安装在工作台上，实现待曝光卷材与工作台在曝光时时刻保持相对静止，不会对待曝光卷材上靠近曝光区域的部分产生拉扯，减少了对卷材品质的影响，提高的曝光质量。
基本信息
专利标题 ：
一种直写式曝光机工作台组件及直写式曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920671311.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-10
授权号 ：
CN209674185U
授权日 ：
2019-11-22
发明人 ：
蔡志国王友车
申请人 ：
苏州微影激光技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区火炬路85号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201920671311.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2019-11-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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