具有LED光源的直写光刻机

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及半导体技术中的微细加工设备，即具有LED光源的直写光刻机。解决了现有光源使用寿命短、耗电高、温度高和体积大的问题。本实用新型直写光刻机采用发光二极管光源，所述发光二极管光源通过电路板设于铜制散热块上，铜制散热块底部设有位置调节机构。本实用新型发光二极管光源寿命长达20000个小时；其发热量非常低，大大降低了整个温控系统的设计难度；光路中不需要加装以往汞灯光路中必须要加装的滤光片、波段反射镜等光学部件，光功率的利用效率更高，光路设计更加简化，使得整机的体积缩小，结构更加紧凑，降低整机成本。

基本信息

专利标题：

具有LED光源的直写光刻机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820032642.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-02-25

授权号：

CN201159831Y

授权日：

2008-12-03

发明人：

王骥张东涛

申请人：

芯硕半导体(中国)有限公司

申请人地址：

230601安徽省合肥市经济技术开发区乡村花园会所二楼

代理机构：

合肥金安专利事务所

代理人：

金惠贞

优先权：

CN200820032642.X

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20