本发明公开一种光刻机光源发生装置，包括安装板、镜筒、灯源箱和冷却箱；基座的底部通过调节机构与安装板连接，安装板的底面等间距设置有与镜筒相适配的安装孔；第一连接轴上设置有功率调节件，功率调节件的灯源箱的内壁处设置有变阻器，第一连接轴上螺纹套设有套管，套管上安装有移动板，移动板的顶部通过连接块与变阻器的滑片连接；第二连接轴上设置有冷却调节件，冷却调节件的冷却箱的进口与连接软管连接，连接软管上设置有限流机构；本发明实现了镜筒的调节机构、激光源的功率调节件以及激光源的冷却调节件于一体，实现焦距、功率和冷却三者调节相互配合联动，大大提高光源发生装置的使用多样性以及大大延长其使用寿命的优点。