一种平行光源非接触的单面自动光刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种平行光源非接触的单面自动光刻机,包括外罩、进出料组件、中间对位机构和相机模组,所述中间对位机构两侧均连接有进出料组件,中间对位机构设置在焊接支撑平台上,焊接支撑平台设置在外罩内部。本平行光源非接触的单面自动光刻机,采用LED平行光源,机械手搬运组件,斜式升降台,全图像定位系统有效实现全自动连线光刻作业,将产品送入一个无尘的机器中,从托轮组件传送到中间对位机构,产品由机械手搬运组件和斜式升降台将产品送到光刻平台加工,加工完,再由机械手搬运组件将产品送下来输送出来,本装置可以将产品精密度达到300微米,相对于传统加工产品来说,更加环保,精密。
基本信息
专利标题 :
一种平行光源非接触的单面自动光刻机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022424720.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-27
授权号 :
CN213399194U
授权日 :
2021-06-08
发明人 :
龚志平
申请人 :
广东莱宝智能装备股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市东城区牛山上山门水坑尾1号
代理机构 :
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
刘汉民
优先权 :
CN202022424720.4
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-06-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载