一种单面自动光刻机的拖轮组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种单面自动光刻机的拖轮组件，包括第一拖轮，所述第一拖轮一端与第一轴承一侧连接，第一轴承另一侧与第一带轮一端连接，第一带轮另一端与第一从动轴一端连接，第一从动轴另一端与第二带轮一端连接，第二带轮另一端与第二轴承一端连接，第二轴承另一端与第二拖轮一端连接，第二拖轮另一端与第二从动轴一侧连接，第二从动轴另一端与第三拖轮一侧连接，本单面自动光刻机的拖轮组件，第一拖轮、第二拖轮、第三拖轮和第四拖轮结构相同，使用材料也一致，都采用了超高分子材料—UPE，UPE的特性可以很好的解决振动这一问题，可有效平稳输送产品，使定位更加的精准，大大的减少了产品因为精准问题所出现的产品浪费，使利益得到最大化。
基本信息
专利标题 ：
一种单面自动光刻机的拖轮组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022424649.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN213399193U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
龚志平
申请人 ：
广东莱宝智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市东城区牛山上山门水坑尾1号
代理机构 ：
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘汉民
优先权 ：
CN202022424649.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
