光刻机的自动调焦装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本实用新型是一种光刻机的自动调焦装置，属于对已有光刻机自动调焦装置中的调平机构，调焦机构的进一步改进。其特征在于调平机构中，调平板由一压紧装置固定，分别由螺纹副和电机组成的三个支撑装置，活动地支撑着调平板，由压电陶瓷驱动器和弹性支座以及零位调节装置构成调焦机构。本实用新型调焦精度提高70％，调平精度达1μm，对光刻物体厚度差的适应能力显著增强，抗干扰能力强，刻线质量好，刻划周期短，提高工效和成品率。
基本信息
专利标题 ：
光刻机的自动调焦装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN90214965.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1990-09-28
授权号 ：
CN2073594U
授权日 ：
1991-03-20
发明人 ：
吴濯才刘业异谢传钵姚汉民林大键
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
610209四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
中国科学院成都专利事务所
代理人 ：
张一红
优先权 ：
CN90214965.2
主分类号 ：
G03F7/207
IPC分类号 ：
G03F7/207
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
G03F7/207
聚焦装置，例如自动地
法律状态
1993-08-18 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-10-30 ：
授权
1991-03-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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