一种光刻机Mark点的CCD调焦装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光刻机Mark点的CCD调焦装置，包括连接板，连接板上螺纹孔，螺纹孔上螺纹安装有螺套，螺套上螺纹连接有螺杆，螺杆上螺纹连接有用于与CCD相机连接的调节套；螺套、螺杆和调节套的内部在轴向上相互连通。通过螺套在连接板上的旋转，不仅可以微调CCD相机的焦距，而且实现了CCD相机拍摄位置的旋转式调节，以便与拍摄的Mark点上下对应；通过调节套与螺杆的螺纹连接，便于调节套的轴向滑移，从而达到大范围调节的焦距目的。实现了CCD相机焦距的微调和大范围调节的目的，不同焦距的CCD相机均可在该装置上使用，提高了CCD相机使用的通用性，有效降低了购置不同焦距CCD相机的成本。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机Mark点的CCD调焦装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021705398.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN212694246U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
张雪奎牛立久
申请人 ：
山东华楷微电子装备有限公司
申请人地址 ：
山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园（高新六路与艳阳路交汇处）
代理机构 ：
苏州金项专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
金星
优先权 ：
CN202021705398.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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