吸盘组件和具有其的光刻机
授权
摘要
本实用新型公开了一种吸盘组件和具有其的光刻机，吸盘组件包括：吸盘装置，其上表面水平且适于放置待吸件,其底部设有驱动装置，驱动装置包括驱动器、驱动件、从动件和升降机构，驱动件与驱动器相连，从动件与驱动件配合，升降机构设在从动件上，吸盘装置上形成有沿第一方向延伸且上下贯通的长条形孔；压杆，其设在吸盘装置的上方、沿与第一方向垂直的第二方向延伸，升降机构包括可上下移动的升降杆，升降杆穿过长条形孔与压杆相连，驱动器工作时驱动件与从动件配合带动升降杆在长条形孔内移动以带动压杆沿第一方向移动，升降杆在上下移动时带动压杆上下移动以将待吸件压紧在吸盘装置上。根据本实用新型的吸盘组件，将待吸件压平，提高其平整度。
基本信息
专利标题 ：
吸盘组件和具有其的光刻机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022035008.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-15
授权号 ：
CN213069472U
授权日 ：
2021-04-27
发明人 ：
胡刚项宗齐
申请人 ：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
代理机构 ：
北京景闻知识产权代理有限公司
代理人 ：
卢春燕
优先权 ：
CN202022035008.5
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-04-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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