一种吸盘、吸盘组件及承载设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种吸盘、吸盘组件及承载设备，所述吸盘包括：吸盘本体、限位组件和吸嘴，限位组件包括限位柱、支撑杆和旋转轴，限位柱固定在支撑杆上，支撑杆固定在旋转轴上，旋转轴可旋转地设置在吸盘本体上，当吸盘靠近承载工装时，限位柱可以限制硅片距承载工装之间的距离，以保证硅片与承载工装之间具有一定的间隙，防止硅片被承载工装划伤，本实用新型实施例提供的吸盘，无论承载工装是否发生变形，限位柱均能起到限位硅片距承载工装距离的作用，在硅片从承载工装中插卸的过程中，均不会对硅片造成划伤，并且限位柱也不会对承载工装造成划伤，提高了承载工装的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种吸盘、吸盘组件及承载设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922038405.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN211045404U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
赵赞良
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区文萃南街战略新兴材料加工区8号206室
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
莎日娜
优先权 ：
CN201922038405.5
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/687
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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