承载组件及检测设备
实质审查的生效
摘要

本申请公开了一种承载组件及检测设备。本申请实施方式的承载组件包括盖板、第一支架、多个第一支撑件、第二支架及多个第二支撑件。第一支架设置在盖板的第一侧。第一支撑件设置在第一支架,多个第一支撑件共同限定第一限位空间,第一限位空间用于放置并限定具有第一尺寸的第一待检测件。第二支架设置在第一支架远离盖板的一侧。第二支撑件设置在第二支架,多个第二支撑件共同限定第二限位空间,第二限位空间用于放置并限定具有第二尺寸的第二待检测件。本申请通过设置第一支撑件及第二支撑件来承载并限定不同尺寸的待检测件,能够提高承载组件的利用率。此外,由于承载组件仅与待检测件的边缘接触,能够减小检测过程中对待检测件的污染。

基本信息
专利标题 :
承载组件及检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114486901A
申请号 :
CN202011273208.2
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2020-11-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鲁范铎刘健鹏张鹏斌张嵩
申请人 :
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 :
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
邵泳城
优先权 :
CN202011273208.2
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/03  H01L21/67  H01L21/687  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20201113
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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