承载装置及检测设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述承载装置包括吸附支撑组件、升降机构组件和基板；所述升降机构组件位于所述吸附支撑组件的下方，所述吸附支撑组件设有若干竖向的通孔，所述升降机构组件设有用于穿过所述通孔以进行托举的支撑杆，所述吸附支撑组件与所述基板上下间隔设置并与所述基板之间设有旋转对准组件，所述旋转对准组件安装于所述基板且连接所述吸附支撑组件，以驱动所述吸附支撑组件相对于所述基板旋转。该装置将吸附平台和旋转装置进行集成，减少了旋转对准平台用于支撑升降片平台和吸附平台的部分，从而减轻了运动平台的负载，最终达到降低产品成本、提高检测效率的目的。

基本信息

专利标题：

承载装置及检测设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022308175.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-16

授权号：

CN213562136U

授权日：

2021-06-29

发明人：

庞芝亮王天民张新云陈鲁

申请人：

深圳中科飞测科技股份有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

李带娣

优先权：

CN202022308175.2

主分类号：

B25B11/00

IPC分类号：

B25B11/00 G01M11/00