晶棒承载装置以及立式激光干涉检测设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型提供了一种晶棒承载装置以及包含该晶棒承载装置的立式激光干涉检测设备。本实用新型的晶棒承载装置包括:支撑座;可转动地安装在支撑座上的旋转盘;以及安装在旋转盘上的晶棒承托台、晶棒夹持部和反光镜安装座,旋转盘含有上旋转盘和下旋转盘,上旋转盘设有承托台安装槽和光路通孔,晶棒承托台的下端安装在承托台安装槽内,晶棒夹持部含有夹持安装座、固定臂、活动臂、夹爪以及弹性压紧件,固定臂活动安装在夹持安装座上,夹爪位于光路通孔的正上方并且活动安装在固定臂的一端,活动臂的一端与固定臂的另一端可转动地连接,弹性压紧件安装在活动臂的另一端,反光镜安装座位于光路通孔的正下方并安装在下旋转盘的上端面。
基本信息
专利标题 :
晶棒承载装置以及立式激光干涉检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920703208.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-16
授权号 :
CN209764026U
授权日 :
2019-12-10
发明人 :
王全召韩森张齐元李雪园魏光宇
申请人 :
苏州慧利仪器有限责任公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区苏州工业园仁爱路150号
代理机构 :
上海德昭知识产权代理有限公司
代理人 :
郁旦蓉
优先权 :
CN201920703208.8
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24 G01N21/45 G01N21/59 B25B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-06-04 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G01B 11/24
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更后 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215164 江苏省苏州市吴中区苏州工业园仁爱路150号
变更后 : 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更后 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215164 江苏省苏州市吴中区苏州工业园仁爱路150号
变更后 : 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号
2019-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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