参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供了一种参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备。本实用新型的参考平面镜承载装置包括:平面镜承载部;以及微位移部,用于驱动平面镜承载部沿光轴方向进行微小的位置移动,其中,平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上的承载盘,微位移部含有对应布置的固定板和移动板、至少两个弹性连接件、以及至少一个压电陶瓷封装驱动件,承载盘安装座安装在移动板的下端面,压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈,两个端盖分别与固定板的下端面和移动板的上端面相触接,一个端盖的内端设有与压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台,压电陶瓷圈位于两个端盖之间并套接在凸台的外部。

基本信息
专利标题 :
参考平面镜承载装置以及激光干涉检测设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920697584.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-16
授权号 :
CN209979914U
授权日 :
2020-01-21
发明人 :
王全召韩森李雪园王芳卢庆杰
申请人 :
苏州慧利仪器有限责任公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区苏州工业园仁爱路150号
代理机构 :
上海德昭知识产权代理有限公司
代理人 :
郁旦蓉
优先权 :
CN201920697584.0
主分类号 :
G02B7/182
IPC分类号 :
G02B7/182  G01B9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B7/00
光学元件的安装、调整装置或不漏光连接
G02B7/18
用于棱镜;用于反光镜
G02B7/182
用于反光镜
法律状态
2021-06-01 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : G02B 7/182
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更后 : 苏州慧利仪器有限责任公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215164 江苏省苏州市吴中区苏州工业园仁爱路150号
变更后 : 215164 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号
2020-01-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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