一种激光干涉位移测量装置
授权
摘要

本实用新型涉及一种激光干涉位移测量装置,包括读数头、三角波反射镜,所述读数头包括激光源、第一分光镜、第二分光镜、分光棱镜、第一光电探测器、聚光透镜、第二光电探测器、处理器。本实用新型加入分光棱镜和第一光电探测器,避免在测量过程中,激光束的波长因环境等因素发生变化而导致最终测量结果的偏差,对激光束波长的变化进行补偿;本方案使用简单的光学器件,以及利用激光干涉原理,完成对被测物体的位移量测量工作,在保证了测量精度的情况下,还简化了装置的复杂性。

基本信息
专利标题 :
一种激光干涉位移测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020202232.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-24
授权号 :
CN211317207U
授权日 :
2020-08-21
发明人 :
高洋刘锋
申请人 :
北方民族大学
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号
代理机构 :
北京市领专知识产权代理有限公司
代理人 :
张玲
优先权 :
CN202020202232.6
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  G01B11/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2020-08-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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