多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪，属于对位移量的精密测量。本发明采用同一光源的光引入光纤网络回路中形成多个光纤干涉仪，经频域滤波分别同时进行检测各个干涉信号。本发明适用于多点(维)远距离同时检测，每一路的测量范围不小于1mm，测量精度不低于0.05μm，并适用于表面粗糙度具有以上光洁度的物体的测量，具有灵敏度高，抗电磁干扰，非接触式测量等优点，本发明测头体积小、结构紧凑、成本较低，具有广阔的应用领域。
基本信息
专利标题 ：
多路复用激光调频外差干涉光纤位移测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1052369A
申请号 ：
CN90110041.2
公开（公告）日 ：
1991-06-19
申请日 ：
1990-12-29
授权号 ：
CN1019145B
授权日 ：
1992-11-18
发明人 ：
田芊郑刚李达成梁晋文
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN90110041.2
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1997-02-12 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-07-21 ：
授权
1992-11-18 ：
审定
1991-06-19 ：
公开
1991-05-29 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
