激光外差共路干涉光学系统
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种测量物体超光滑表面的粗糙度、微细表面轮廓、微小位移、微小变形的装置及方法，是对激光外差干涉方法及系统的改进。本发明的共路干涉系统由光源12、接收器2、接收器11、分束器1，偏振分束器3，多面反射棱镜5、偏振分束器7、波片9、透镜10、透镜8、反射棱镜6，多面反射棱镜4组成。本发明具有共路干涉系统，使得参考光束和测量光束在同一个光路中互逆行进，由接收器11干涉产生测量信号，使光学系统具有稳定度和精度高，对使用环境要求低，挤干扰能力强，使用方便。
基本信息
专利标题 ：
激光外差共路干涉光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1079055A
申请号 ：
CN92103398.2
公开（公告）日 ：
1993-12-01
申请日 ：
1992-05-16
授权号 ：
CN1034530C
授权日 ：
1997-04-09
发明人 ：
韩昌元顾去吾卢振武刘斌
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械研究所
申请人地址 ：
130022吉林省长春市斯大林大街112号
代理机构 ：
中国科学院长春专利事务所
代理人 ：
梁爱荣
优先权 ：
CN92103398.2
主分类号 ：
G02B27/00
IPC分类号 ：
G02B27/00 G01B11/30
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
1998-07-08 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1997-04-09 ：
授权
1995-03-08 ：
实质审查请求的生效
1993-12-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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