一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置，涉及激光干涉精密测量和数字信号处理领域。本装置包括待测物体(40)，设置有信号源(10)、数字解调电路(20)和外差激光干涉仪(30)；信号源(10)与外差激光干涉仪(20)连接，用于调制激光频率和驱动声光移频器；信号源(10)同时与数字解调电路(30)连接，用于提供参考信号；外差激光干涉仪(20)与待测物体(40)连通，用于产生激光干涉拍频信号；外差激光干涉仪(20)与数字解调电路(30)连接，用于提供拍频信号。本实用新型适用于激光测距的精密测量领域，可用于改善测距精度指标、以及制作高精度测量距离和位移的传感器件。

基本信息

专利标题：

一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921336617.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-08-16

授权号：

CN210803717U

授权日：

2020-06-19

发明人：

梁浴榕李润兵王谨詹明生

申请人：

中国科学院武汉物理与数学研究所

申请人地址：

湖北省武汉市武昌区小洪山西30号

代理机构：

武汉宇晨专利事务所

代理人：

黄瑞棠

优先权：

CN201921336617.5

主分类号：

G01S17/08

IPC分类号：

G01S17/08 G01S7/48 G01B11/02 G01B9/02