干涉仪位移测量系统及方法

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摘要

本发明提供一种干涉仪位移测量系统及方法，其中的系统包括：测量光经第一偏振分光棱镜、第一1/4波片、第一分光棱镜、光波导组件以及反射装置的处理后，返回第一光电探测器和第二光电探测器中；参考光经第二偏振分光棱镜、第二1/4波片、第二分光棱镜以及反射镜的处理后，返回至第一光电探测器和第二光电探测器中；第一光电探测器根据处理后的测量光和参考光形成测量信号，第二光电探测器根据处理后的测量光和参考光形成参考信号；根据测量信号和参考信号确定待检测物体的位移信息。利用上述发明能够减小位移测量误差、提高测量精度和测量范围。

基本信息

专利标题：

干涉仪位移测量系统及方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112484647A

申请号：

CN202011293860.0

公开（公告）日：

2021-03-12

申请日：

2020-11-18

授权号：

CN112484647B

授权日：

2022-06-10

发明人：

孙国华高晓良徐蕾

申请人：

北京华卓精科科技股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人：

王迎

优先权：

CN202011293860.0

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02