单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法
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摘要
本发明提出单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法，所述干涉仪包括激光光源、光栅、位移发生装置、用于形成F‑P腔部分具有透射表面的光学器件、光电探测模块和信号处理模块；激光光源与光栅按Littrow角放置，光栅固定在所述位移发生装置上且与位移发生装置的运动方向平行设置，所述光栅在所述位移发生装置的驱动下在垂直于光栅刻线的方向上运动，所述光栅表面和部分透射表面之间形成F‑P腔，光电探测模块用于接收部分透射表面透过的多光束干涉光，所述信号处理模块对所述光电探测模块得到的干涉信号进行处理和解算。本发明提出的法布里珀罗光栅干涉仪，融合了光栅干涉和法布里珀罗干涉技术，可以实现光栅面内的位移测量。
基本信息
专利标题 ：
单自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112304213A
申请号 ：
CN201910712531.6
公开（公告）日 ：
2021-02-02
申请日 ：
2019-08-02
授权号 ：
CN112304213B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
胡鹏程常笛王嘉宁谭久彬
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙莉莉
优先权 ：
CN201910712531.6
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/02 G01D5/353 G01D5/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2021-02-23 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20190802
申请日 : 20190802
2021-02-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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