法布里-珀罗干涉滤光器及法布里-珀罗干涉滤光器的制造方法
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摘要
法布里‑珀罗干涉滤光器(1)具备：基板(11)，其具有第1表面(11a)；第1层叠体(22)，其具有配置于第1表面(11a)的第1镜部(31)；第2层叠体(24)，其具有经由空隙(S)而与第1镜部(31)相对的第2镜部(32)；及中间层(23)，其于第1层叠体(22)与第2层叠体(24)之间划定空隙(S)。基板(11)具有于自垂直于第1表面(11a)的方向观察的情形时位于较中间层(23)的外缘更靠外侧的外缘部(11c)。第2层叠体(24)进而具有：覆盖部(33)，其覆盖中间层(23)；及周缘部(34)，其位于外缘部(11c)中的第1表面(11a)上。第2镜部(32)、覆盖部(33)及周缘部(34)以相互连续的方式一体地形成。周缘部(34)沿外缘部(11c)的外缘而被薄化。
基本信息
专利标题 ：
法布里-珀罗干涉滤光器及法布里-珀罗干涉滤光器的制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109196404A
申请号 ：
CN201780032540.X
公开（公告）日 ：
2019-01-11
申请日 ：
2017-05-01
授权号 ：
CN109196404B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
笠原隆柴山胜己广瀬真树川合敏光大山泰生藏本有未
申请人 ：
浜松光子学株式会社
申请人地址 ：
日本静冈县
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨琦
优先权 ：
CN201780032540.X
主分类号 ：
G02B26/00
IPC分类号 ：
G02B26/00 B81B3/00 B81C1/00
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IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-02-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/00
申请日 : 20170501
申请日 : 20170501
2019-01-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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