位移测量装置有主电极和相隔很近并合起来把主电极全盖住的第一、二次电极，主、次电极可相对运动而不改变其横向间距。用电荷泵浦装置在选定的第一时钟周期内经第一次电极向主电极提供电荷并在选定的第二时钟周期内经第二次电极从主电极取走电荷。主电极电荷变号时从一种工作方式自动转换到另一种，由此主电极电荷连续增加再减小到低值。记下测量中供给主电极及从其取走的电荷包数并得出位移信号。该系统可用于求两个电容器电容比。