位移测量传感装置和位移测量传感系统

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摘要

本实用新型公开一种位移测量传感装置和位移测量传感系统。其中，该位移测量传感装置包括：光线发生模块、光路模块、响应模块以及检测模块。光线发生模块用于生成不同波长的至少两束光束；光路模块与光线发生模块的光线输出端正对设置，光路模块对传入的光束进行相位调制形成多个检测光束，并传出多个检测光束；响应模块与光路模块对应设置，响应模块用于承载物体，多个检测光束照射至响应模块和物体；检测模块对应响应模块设置，用于获取响应模块和/或物体反射的光线。本实用新型位移测量传感装置提高光学成像的精准度。

基本信息

专利标题：

位移测量传感装置和位移测量传感系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922487281.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-30

授权号：

CN211262124U

授权日：

2020-08-14

发明人：

杜路平安礼相石鹏袁小聪

申请人：

深圳大学

申请人地址：

广东省深圳市南山区粤海街道南海大道3688号

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所

代理人：

谢阅

优先权：

CN201922487281.9

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02